激光位移傳感器是一種采用激光干涉測量原理的高精度測量儀器。它通過測量被測物體表面與激光束反射或散射后形成的干涉圖案,進(jìn)而精確計算出被測物體與傳感器之間的距離。
激光位移傳感器的測量精度非常高,根據(jù)市場上主流的激光位移傳感器數(shù)據(jù),其測量精度可以達(dá)到0.1微米甚至更高。不過,測量精度可能受到多種因素的影響,包括測量范圍、環(huán)境因素(如震動、溫度等)、激光束的直線度、相干性、波長穩(wěn)定性、機械結(jié)構(gòu)的穩(wěn)定性等。一般來說,在測量范圍內(nèi),隨著距離的增加,測量精度可能會下降。
此外,激光位移傳感器具有高精度、高靈敏度、非接觸式測量等優(yōu)點,因此廣泛應(yīng)用于機械制造、自動化控制、精密儀器、航空航天等領(lǐng)域,如用于機床加工中的位置檢測、工件的精密測量、機器人的軌跡控制、飛行器的姿態(tài)控制等。