激光位移傳感器的工作原理基于激光三角測量法。具體來說,激光器發(fā)射一束激光,經(jīng)過光學(xué)系統(tǒng)照射到被測物體表面,反射回來的光線再經(jīng)過光學(xué)系統(tǒng)成像在光電探測器上。當(dāng)被測物體發(fā)生位移時,反射光在探測器上的位置會發(fā)生改變。通過檢測這個改變量,可以計算出物體的位移量。
根據(jù)測量方式的不同,激光位移傳感器可以分為透射式和反射式兩種。透射式傳感器是通過測量光線通過被測物體后的強(qiáng)度分布來計算物體的位移量,而反射式傳感器則是通過測量光線反射回來后成像在探測器上的位置來計算物體的位移量。
此外,激光位移傳感器還可以利用激光光束的特性,如光的干涉原理和三角測量原理,來測量物體與傳感器之間的距離或位移。在測量中,激光束照射在被測物體上的某一點(diǎn)上,反射回來的光會與發(fā)射的光發(fā)生干涉。干涉產(chǎn)生的光程差與物體與傳感器的距離成正比。通過測量這個光程差的變化,可以求得物體與傳感器之間的距離變化,即位移。
總之,激光位移傳感器具有高精度、快速響應(yīng)和非接觸測量等特點(diǎn),被廣泛應(yīng)用于工業(yè)自動化、機(jī)器人導(dǎo)航、醫(yī)療器械和科學(xué)研究等領(lǐng)域。